Ellipsometry를 이용한 반도체 시스템의 비파괴 분석연구
일 시 : 2022년 03월 16일 수요일 16:30
연 사 : 김 영 동 교수 (경희대학교 물리학과)
장 소 : 온라인 (https://us02web.zoom.us/j/85450803999, 회의 ID: 854 5080 3999)
HOST : 김 재 용 교수님
초 록
현재 산업계에서는 대용량 정보저장용 매체나 대면적 디스플레이등의 제품의 개발시기부터 공정의 제어 및 불량품의 판정에 이르기까지 직접적이나 파괴적인 방법은 이제 한계에 다다랐고, 빛을 이용하는 비파괴 분석방법이 지속가능한 차세대로의 분석방법에 유일한 대안으로 부상하고 있으며, 이러한 비파괴적인 방법에 더하여 실시간 모니터링 또한 필수적으로 요구되고 있는데, 비파괴적인 광학적 방법을 이용하는 ellipsometry(타원편광분석법) 기술이 중요한 대안으로 주목받고 있다.
Ellipsometry 가 측정하는 굴절율(유전율) 함수는, 빛의 전기장과 물질의 전하사이의 상호작용에 관한 순수 물리학적인 정보뿐만 아니라, 그 시료의 구조자체에 관한 기본적인 정보도 알려주는데, 이를 이용하여 시료의 성장 및 식각상태 등을 실시간 모니터링 할 수 있음을 설여하고자 한다. 또한, 기초물리학적인 연구인, 밴드갭 측정 및 분석에 관한 반도체 연구도 소개한다.