반도체와 함께한 40년
일 시 : 2022년 06월 08일 수요일 16:30
연 사 : 김 은 규 교수 (한양대학교 물리학과)
장 소 : 자연과학관 B117호
초 록
지난 40여 년간 수행했던 반도체연구를 더듬어 반도체소재 및 소자분야에서의 연구주제 및 연구내용을 회고하고, 현재 진행중인 연구를 소개하고자 한다. 1970년대 말부터 시작된 국내 반도체산업은 실리콘 단결정 성장과 함께 웨이퍼 제작기술 개발이 요구되었으며, 1980년대 초부터는 대표적인 III-V족 화합물반도체인 GaAs 와 II-VI 족 반도체인 HgCdTe 단결정 및 에피 성장기술 연구가 시작되었다. 1985년 KAIST(현 KIST) 연구원으로 입사하여 이들 반도체소재의 기본물성 및 결함분석 연구를 담당하였다. 또한 에피층 성장기술 발전과 함께 단원자 층의 두께제어 기술은 반도체 양자구조의 형성과 더불어 양자소자 연구의 기반이 되었으며, 2000년대로 접어들면서 반도체연구의 중요한 이슈가 되었다. 특히, 선택적 양자구조 성장과 함께 응용소자 기반연구가 집중되었으며, 이때부터 “나노” 또는 “양자”라는 단어가 크게 대두되었다. 2002년 한양대로 이직할 당시 물리학과에서는 “양자광기능물성 연구센터 (SRC)”를 유치하여, 9년간 나노구조 양자물성연구를 수행하게 되었다. 또한 개인적으로는 “양자기능 스피닉스 연구실”을 국가지정연구실로 지정받아 5년간 수행할 수 있는 기회를 얻었다. 그 후 2010년도부터 실질적인 반도체소자 개발을 연구주제로, 차세대 메모리소자, LED, 태양전지 등을 연구해 왔으며, 2020년도에는 기초연구실 “초고효율, 고전력 화합물반도체 소재/소자 결함공학 연구실”을 유치하여 전기자동차 및 태양전지 인버터에 필요한 전력소자 연구를 진행하고 있다.